納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性?？蛇m用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機材料等。

　?。?）試樣制備簡單。納米壓痕儀測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求，對被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種無損測試方法。

　?。?）測量分辨力高。吉大納米壓痕儀位移分辨率達到0.05nm，力學(xué)分辨率100nN。瑞士的設(shè)備力學(xué)分辨率0.5nN，位移分辨率0.05nm。

　?。?）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對殘余壓痕面積進行測定。

　?。?）測試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測試不僅可以獲得硬度、彈性模量，還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。

　　（5）納米壓痕儀應(yīng)用范圍廣?？蓮V泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料、微機電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測試。